Основна класифікація датчиків:
За призначенням
Датчики, чутливі до тиску та сили, датчики положення, датчики рівня, датчики енергії, датчики швидкості, акселерометри, радіаційні датчики, термодатчики.
За принципом
Датчик вібрації, датчик вологості, магнітний датчик, датчик газу, датчик вакууму, біосенсор тощо.
Натисніть вихідний сигнал
Аналоговий датчик: перетворює виміряну неелектричну величину в аналоговий електричний сигнал.
Цифровий датчик: перетворює виміряні неелектричні величини в цифрові вихідні сигнали (як прямі, так і непрямі).
Цифровий датчик: перетворює виміряний семафор на вихід частотного сигналу або сигналу короткого циклу (включаючи пряме або непряме перетворення).
Датчик перемикання: коли виміряний сигнал досягає певного порогу, датчик видає встановлений низький або високий сигнал відповідно.
За виробничим процесом
Інтегровані датчики виготовляються за стандартною технологічною технологією для виробництва напівпровідникових інтегральних схем на основі кремнію.
Частина схеми, яка використовується для початкової обробки сигналу, що тестується, також зазвичай інтегрована в той самий чіп.
Тонкоплівковий сенсор утворений плівкою відповідного чутливого матеріалу, нанесеного на діелектричну підкладку (підкладку). Якщо використовується процес змішування, частина схеми також може бути виготовлена на цій підкладці.
Датчик товстої плівки виготовляється шляхом нанесення суспензії відповідного матеріалу на керамічну підкладку, яка зазвичай виготовляється з Al2O3, а потім піддається термообробці для утворення товстої плівки.
Керамічні датчики виготовляються за допомогою стандартних керамічних процесів або деяких їх варіацій (золь, гель тощо).
Після завершення відповідної підготовчої операції сформований компонент спікається при високій температурі. Є багато спільних характеристик між двома процесами товстої плівки та керамічних датчиків. У деяких аспектах товстоплівковий процес можна розглядати як варіант керамічного процесу.
Кожна технологія процесу має свої переваги та недоліки. Керамічні та товстоплівкові датчики є більш розумними через
